文献综述
1 低温泵的简介低温泵是通过在真空容器内形成极低温面，把容器内的气体分子冷凝、吸附在此低温面上将其从真空环境中除去的泵。
被冷凝气体的饱和蒸气压和被吸附气体的吸附平衡压降至10 -8 pa[2]以下时低温泵才能有效进行抽气。
低温泵工作压力范围宽、抽速快、清洁无油、无运动部件,并能抽除有毒有害气体,特别对于水蒸气有很高的抽气能力,对于制备高质量薄膜非常有利。
在国外的半导体、液晶显示及光学薄膜等领域,大多采用低温泵作为主泵。
在美国电子真空行业,78%都使用低温泵,而其中的大规模集成电路生产几乎都采用低温泵。
国外生产低温泵的厂家很多,并已经形成完整系列。
2国内外研究现状液态空气储能技术是一种新型大规模储能技术，低温泵是液态空气储能系统释能发电的重要部件，主要用于输送释能阶段的液态空气并提高其压力。
在工程实践中，低温泵极易受到外界环境的影响发生空化导致低温泵的性能下降。
因此有必要对低温泵的空化进行研究。
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