摘要
随着物联网、微型传感器和可穿戴电子设备的快速发展，对微型储能器件的需求日益增长。
微型混合锂离子电容器（MHLCs）结合了锂离子电池高能量密度和超级电容器高功率密度的优势，具有良好的应用前景。
C-MEMS（碳微机电系统）工艺作为一种新兴的微加工技术，能够在微纳米尺度上精确控制材料的结构和形貌，为构建高性能微型MHLCs提供了新的思路。
本文综述了微型储能器件、锂离子电容器、C-MEMS工艺以及微型MHLCs的研究进展，并对该领域未来的发展方向进行了展望。
关键词：微型混合锂离子电容器；C-MEMS工艺；微型储能器件；锂离子电池；超级电容器
近年来，随着物联网、微型传感器、可穿戴电子设备等技术的快速发展，对微型化、集成化、高性能储能器件的需求日益迫切[1]。
传统的储能器件如电池和电容器，由于体积较大、集成度低等限制，难以满足微型化电子设备的需求。
因此，开发新型微型储能器件成为当前研究的热点。
微型储能器件是指尺寸在毫米甚至微米级别的储能装置，具有体积小、重量轻、可集成等优点。
常见的微型储能器件包括微型电池、微型超级电容器、微型燃料电池等[2]。
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