摘要
锆钛酸铅(PZT)压电薄膜作为一种重要的功能材料，在传感器、驱动器、能量收集等领域具有广泛的应用前景。
近年来，随着微电子技术的快速发展，对PZT压电薄膜的性能要求不断提高，对其制备工艺和性能研究也提出了更高的要求。
本文综述了PZT压电薄膜的制备方法，包括溶胶-凝胶法、溅射法、脉冲激光沉积法等，并分析了不同制备方法的优缺点。
重点阐述了影响PZT压电薄膜电输出性能的关键因素，如薄膜厚度、结晶取向、微观结构、掺杂改性等，并探讨了提高其电输出性能的有效途径。
最后，展望了PZT压电薄膜的未来发展趋势，认为高性能、低成本、柔性化将是其发展方向。
关键词：PZT压电薄膜；制备；电输出性能；溶胶-凝胶法；溅射法
压电效应是指某些材料在机械压力作用下产生电荷，或在电场作用下发生机械形变的现象。
压电材料作为一种重要的功能材料，在传感器、驱动器、能量收集、医疗器械等领域有着广泛的应用[1-4]。
锆钛酸铅(PZT)是一种典型的钙钛矿型铁电材料，具有优异的压电性能、介电性能和铁电性能，是目前应用最广泛的压电材料之一。
PZT材料的化学式为Pb(ZrₓTi₁-ₓ)O₃(0≤x≤1)，其性能可以通过调整Zr/Ti比例来进行调控。
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